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为滤层反冲洗后具有足够的清洁度，又能接近均质状态，目前理想的办法是采用气、气水、水的三段式气水反冲洗技术。近年来，国内不少人对气水反冲洗进行了较为深人的研究。几乎所有文献都认为三段式气水反冲洗比二段式气水反冲洗更为理想，并从机理上进行了探索，本文在此不作赘述。
在滤池充水并在滤床层面上保有一定水深条件下先进行单独气冲，一方面通过滤料颗粒间相互磨擦使滤料上粘附的污泥脱落，一方面达到使滤层搅动为均质的目的。经过一段时间的气冲后，不停气且气冲强度无须改变的同时加入水冲，水冲强度很小，只要能使脱落的污泥在合宜的时间内升至排水槽即可。气水联合反冲是能否使滤层洁净的关键。单独气冲时脱落的污泥在此阶段因气冲保持滤层流化状态下加上水冲被有效地托至上层。第三阶段停止气冲，滤料回落为固定床，使脱落的污泥滞留在上层，随后的水冲只是漂洗过程，主要是将上层的高浓度泥水托出滤池，同时进一步清除滤层中剩余的脱落污泥，使滤层达到较彻底的净化。后的水冲洗应遵循二条原则，一是不使均质滤层状态受到破坏，二是按冲洗要求要能够使滤层中剩余的脱落污泥被有效地去除。
